Источник с эффузионным элементом EF 40C1
Описание
Источник с эффузионным элементом EF 40C1 разработан для резистентного нагревания образцов и обеспечивают постоянную скорость напыления.
Особенности
- Встроенный механический затвор
- Высокая стабильность потока
- Различные тигельные материалы
- Высокая надежность, воспроизводимость
- Возможность применения в MBEсистемах
- В конструкции не используется молибден (возможность применения высоких температур газовыделения)
- Встроенный водный охладитель
- Управление с помощью ПО (базовая версия)
Опции
- Расширение ПО – возможно интеграция с RAPIDSE
- С/Без встроенной механической/электрической пневматической задвижки
- Линейное смещение
Технические характеристики
| Mounting flange: | Rotatable, DN 40CF |
| Bakeout temperature: | 250°C |
| Water cooling: | Required |
| Insertion length: | min. 114mm (other on request) OD: 35 mm |
| Spot size: | Dependent on working distance |
| Temperature range: | ~250° - 1500°C |
| crucible type | PBN, Al2O3, Quartz (other materials on request) |
| Crucibles volume: | 5cc for the medium temperature cell |
| Evaporated materials | All typical materials according to crucible type |
| Thermocouple type: | Type C, Type K |
| Degassing temp.: | 1600°C, Degassing without water: 500°C |
| Temperature stability: | ± 1°C |