Стандартный механизм линейного перемещения
Описание
Стандартный механизм линейного перемещения с наклоном для UHVсистем представляет собой пару соединенных фланцев. Свободный фланец движется в сторону фиксированного фланца (точное и управляемое перемещение), сохраняя параллельность. Стандартный крепительный фланец DN 40CF или DN 63CF. Перемещение осуществляется с помощью ручного маховика. Работа в любой ориентации.
Применение
- Манипуляция инструментами работы с поверхностью
- Манипуляция источниками напыления и распыления
- Манипуляция электронными и рентгеновскими источниками
- Манипуляция кварцевыми весами
- Перемещение образцов
Технические характеристики
| Positional control | Handwheel |
| Bakeout temperature | 150°C |
| Bellow ID | 38.5 mm |
| Mounting Flange | DN 40CF or DN 63CF |
| Travelling flange | DN 40CF |
| Travel | 25; 50; 75 or 100 mm |
| Resolution | 1 mm |
| Repeatability | 1 mm |
| Linear Z = 25 | DN 40 CF |
| Linear Z = 50 | DN 40 CF |
| Linear Z = 75 | DN 40 CF |
| Linear Z = 100 | DN 40 CF |
| Linear Z = 25 | DN 63 CF / DN 40 CF |
| Linear Z = 50 | DN 63 CF / DN 40 CF |
| Linear Z = 75 | DN 63 CF / DN 40 CF |
| Linear Z = 100 | DN 63 CF / DN 40 CF |