Источник ионов 40C1

Описание

Источник ионов 40C1 является компактной и простой экстракционной ионной пушкой, предназначенной для чистки поверхности образцов. Источник генерирует поток ионов  >70μA/cm2 (Argon). Длина вставки адаптируется под требования заказчика (стандарт – 63 мм).

Особенности

• Работа с инертными (Ar) и реактивными газами  (O2, H2)
• Высокая мощность ионного луча
• Долгий срок службы
• Высокая стабильность
• Управляется с помощью ПО

Опции

• Система дозирования газа
• Расширение ПО – возможно интеграция с RAPID SE
• Линейное смещение

Технические характеристики